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退火温度和气氛对GZO薄膜和LED器件性能影响_真空技术网

溅射了GZO 薄膜的外延片通过正常的光刻刻蚀方法获得GZO电极的外延片。光刻机的型号是OAI-800,离子束刻蚀机的型号是:LKJ-1C-150I。 退火实验室是在RTP-300 快速退火炉真空设备上进行的。首先将样品放在硅片基板上推入炉中,然后快速升...
www.chvacuum.com/application/film/05... 2022-6-9

真空装置中污染的形成及其影响_真空技术网

真空装置在使用过程中,受使用条件的影响,零件还会受到污染,如真空干燥系统,经常会受到蒸发物质的污染;真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;离子束刻蚀设备的内壁会被溅射物污染;真空中电子枪的灯丝,由于高温蒸发会使其附近表面形成金属膜;真...
www.chvacuum.com/engineering/048...html 2009-4-10

石墨烯的制备及应用研究_真空技术网

利用氧离子束刻蚀高定向热解石墨表面,将其固定在含有光致抗蚀剂的SiO2 /Si 基底上进行焙烧,然后用胶带反复撕揭,除去多余石墨后,再将粘有石墨烯薄片的SiO2/Si 基底浸入丙酮溶液中超声,最后得到吸附在硅晶片上的单层石墨烯。通过这种...
www.chvacuum.com/graphene/0634...html 2022-6-24

真空工程技术 徐成海主编 完美标签PDF版_真空技术网

真空输送 第25章 真空过滤 第26章 空间真空技术 第27章 真空在核物理装置中的应用 第28章 离子束刻蚀技术 第29章 真空绝热与低温容器和真空玻璃 第30章 真空材料的性能 第31章 真空工程常用材料 第32章 真空工程中的常用工艺参考...
www.chvacuum.com/down/0525...html 2022-6-28

离子束工作压强对PET表面化学键结构及润湿性能的影响_真空技术网

如果利用具有一定的准直性的离子束与PET 表面相互作用,则可以避免由于入射角不同所导致的PET 表面性质不均匀。离子束与PET 表面反应机制是非常复杂的,主要是使化学键活化、破坏、重组,以及溅射刻蚀等。在大多数情况下,改性后的PET ...
www.chvacuum.com/material/material/0... 2022-6-22

真空挡板阀的结构与工作原理_真空技术网

安全性好以及可手控、电控、气控等特点,形式多样,规格齐全,公称尺寸DN150~1200,结构合理等,因此,被广泛用于大、中型多种高真空装置的真空系统之中,如用于真空镀膜设备,真空热处理炉、真空钎焊、高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间...
www.chvacuum.com/valve/0473...html 2022-6-27

涡轮分子泵的优缺点_真空技术网

有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中,抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的...
www.chvacuum.com/pumps/jixie/turbo-m... 2022-6-17

低压压印制备硅点阵结构的工艺研究 - 真空技术网

实验中用的玻璃模板由全息曝光技术,在正交方向分两次曝光,制得具有点阵图形的光刻胶掩模,再用反应离子束刻蚀(RIBE)制作出点阵图形。其中凸起部分可视为500 nm 的正方形,深度为300 nm;聚合物材料方面,选用Microchem公司的SU8-2025 光刻...
www.chvacuum.com/application/else/09... 2015-7-12

真空在镀膜工业中的应用_真空技术网

真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支,它已广泛地应用于光学、电子学、能源开发,理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、流沉积镀以及分子外延等...
www.chvacuum.com/application/film/09... 2022-6-20

如何选择和使用涡轮分子泵_真空技术网

有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中,抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的...
www.chvacuum.com/pumps/jixie/turbo-m... 2022-6-1