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不同金属衬底制备碳纳米管的生长差异及其场发射特性_真空技术网
理想的解决方法是直接在衬底上生长碳纳米管。不锈钢具有大量铁元素,又是常用的器件材料,因此适合作为冷阴极的衬底材料。作者选用5 种常用的不锈钢材料作为衬底,分别是310s、321、316、45 号钢、304,研究不同配比的不锈钢合金作为催化剂对...
www.chvacuum.com/application/film/04... 2022-6-24
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术基础_真空技术网
到达衬底并被吸附的化学活性物(主要是基团)的化学性质都很活泼,由它们之间的相互反应从而形成薄膜。 2、等离子体内的化学反应 由于辉光放电过程中对反应气体的激励主要是电子碰撞,因此等离子体内的基元反应多种多样的,而且等离子体与固体...
www.chvacuum.com/application/film/04... 2019-10-5
利用UV曝光技术研制单根定向碳纳米管阵列冷阴极_真空技术网
图1 是二极式单根CNT 阵列阴极的结构模型示意图。它由阴极组件和一个平板阳极组成,阴极组件则包括n2Si (100) 衬底、氮化钛缓冲层和直立的单根CNT 阵列。CNT 之间的直径为D , 间距为d ,高为h ,衬底与阳极之间的距离为L 。
www.chvacuum.com/engineering/0320... 2010-3-17
研究实现AB堆垛双层石墨烯快速生长_真空技术网
中科院上海微系统所石墨烯研究团队采用铜蒸气辅助,在Cu-Ni合金衬底上实现了AB堆垛双层石墨烯(ABBG)的快速生长,典型单晶畴尺寸约300微米,生长时间约10分钟,速度比现有报道提高约一个数量级。相关成果近日在线发表于《微尺度》杂志。
www.chvacuum.com/graphene/0370...html 2016-3-29