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几种常见的超高真空系统_真空技术网

7.高真空阀 8.分子筛泵 9.吸附阱 10.机械泵 图16 无油超高真空镀膜机真空系统原理图 图17给出了又一种型式的组合超高真空系统。该系统适合于真空封接炉、钽片炉等设备。系统的主泵为溅射离子泵—钛升华泵组。真空室极限真空...
www.chvacuum.com/pumps/jixie/026...html 2009-2-5

高真空抽气机组的常用配置_真空技术网

高真空抽气机组在分子流状态下工作,与低真空机组相比,其特点是工作压力较低(10-2~10-6Pa)、排气量小、抽速大。机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作,因此需要配置预抽...
www.chvacuum.com/pumps/jixie/026...html 2022-6-28

超高/极高真空测量发展综述_真空技术网

超高/极高真空测量发展综述 超高真空(UHV) 范围定义为10-5Pa~10-9Pa ,极高真空(XHV)范围定义为低于10-9Pa。超高/极高真空(UHV/XHV) 测量指的是低于10-5Pa 范围内的压力测量。
www.chvacuum.com/vacuum-measure/gaug... 2022-6-24

高真空多层绝热抽真空工艺研究现状与发展_真空技术网

因此,一般夹层的表观真空度要优于10- 2Pa,多层绝热才能充分发挥效果,达到良好的绝热目的,如图1所示。 获取好的真空度成为制造优质高真空多层绝热容器的关键之一,这就对抽真空工艺提出了苛刻的要求。抽真空过程不仅要求对夹层结构及内部...
www.chvacuum.com/systemdesign/0320... 2022-6-23

大型高真空容器的气体负荷分析_真空技术网

随着科学技术的进步,某些用途的真空装置向大型化、高真空度的方向发展。分析表明材料出气和漏气是大型高真空容器的主要气体负荷,在容器及密封结构设计、检漏设计、制造工艺技术分析中应重点研究,以提高大型高真空装备的技术水平。
www.chvacuum.com/engineering/0349... 2022-6-22

高真空插板阀工作状态诊断与监测方法研究_真空技术网

2、高真空插板阀工作状态监测方法 根据ZBS-800 型插板阀的组成以及结构特点,可以采用检测阀门阀板位移、阀门开启以及关闭过程的声音、阀门开启以及关闭所需时间相互结合的方法对阀门的工作状态进行预测。
www.chvacuum.com/valve/chabanfa/0967... 2015-9-14

高真空直排大气干泵——EPX干泵介绍_真空技术网

为了降低半导体设备中真空系统的成本,实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空,并且可以直排大气的真空泵。近几年,国外已经出现了一些高真空直排大气的干泵,并开发出商业化的产品,已经应用于实际生产中。
www.chvacuum.com/pumps/jixie/125...html 2022-6-14

高真空阀门漏率和升压率的区别_真空技术网

众所周知,任何一种真空设备包括极高真空设备,都存在着气体通过器壁、微孔从高压力区向低压力区渗透即漏气的现象,绝对不漏的真空设备是不存在的。所谓的“漏”,必须和设备的最大允许漏量相联系。只要将漏气控制在设备允许的范围内,则...
www.chvacuum.com/valve/0812...html 2022-6-8

高真空多层绝热储罐中微热型复合吸氢剂优化实验研究_真空技术网

氢气是造成高真空多层绝热低温储罐夹层真空度下降的主要原因,为此搭建了吸氢试验台,研究了廉价微热型吸氢剂CuO+C 在不同质量比例下的吸氢性能和吸氢过程曲线;研究表明:CuO与C的最佳质量比为1:6.4;在最佳质量比下,经过43 h,常温夹层...
www.chvacuum.com/engineering/1067... 2022-6-24

高真空低温剥离法制备高储氢性能石墨烯_真空技术网

采用Hummers法液相氧化合成了氧化石墨(GO),通过高真空低温热膨胀法制备得到了高比表面积的石墨烯(GNS)材料。采用X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱、X 射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱(RS)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显...
www.chvacuum.com/graphene/1043...html 2022-6-15